高精度激光測振儀
簡要描述：高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
產品型號： LV-S01-M
所屬分類：掃描式激光測振儀
更新時間：2025-11-05
詳細說明：
一、工作原理：
高精度激光測振儀的核心是一臺高精密激光干涉儀和一臺信號處理器。高精密激光干涉儀內的He-Ne激光器發出的偏振光（設頻率為F0）由分光鏡分成兩路，一路作為測量，一路用于參考。測量光通過聲光調制器具有一定頻移（F），再被聚焦到被測物體表面，物體振動引起頻移（f =2v/λ）。系統收集反射光并與參考光匯聚在傳感器上，這樣兩束光在傳感器表面產生干涉，干涉信號的頻率為F+f，攜帶了被測物體的振動信息，信號處理器將頻移信號轉換為速度和位移信號。
采用的是非接觸式的測量方法，具有出色的頻率和相位響應，可準確地對各種物體的振動、位移、速度及加速度等進行測量，在滿足高精度、高速測量需求的同時，還可以彌補接觸式測量無法測量的缺陷。它主要由干涉儀及振動控制器兩部分組成，并被廣泛應用于各高校/研究所以及各大工廠。
二、技術指標：
三、激光測振儀采用非接觸式動態干涉測量技術，在以下各方面有廣泛的應用：
1、微機電系統(MEMS)動態測試；
2、汽車工業：發動機、齒輪、制動器、輪胎、排氣系統、車身等；
3、馬達回轉動態精度測試；
4、機床動態精度測試；
5、生命科學、醫學、動物學研究；
6、橋梁、建筑振動測試。
